千级洁净度检测推荐「世纪久海」

单相流洁净室截面平均速度、速度不均匀

1、仪器设备及环境仪器设备热球风速仪。环境温度常温或设计温度下。

2、抽样对于单向流洁净室截面平均风速都要测试。

洁净度高于5级的单向流洁净室截面风速不均匀度都要求检测，洁净度等级为5级的单向流洁净室在设计有要求时检测。

3、技术条件（1）实测室内平均风速应大于设计风速但不应超过20%。（2）风速不均匀度按下式计算结果应不大于0.25v1β。

4、操作过程及判定（1）测定截面、测点数和测定仪器应符合风量或风速的测试中单向流层流洁净室的规定。（2）测定风速宜用测定架固定风速仪，以避免人体干扰不得不手持风速仪。测定时，手臂应伸直至长位置使人体远离测头。

室内噪声

1、仪器设备和环境仪器，设备测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计。环境温度常温或设计温度下。

2、抽样对有噪声设计要求的各个场所分别测定。

3、技术要求

室内噪声级应符合《洁净厂房设计规范》GB50073-2001的规定。

在空态情况下，非单相流洁净室不应大于60dBA；单向流、混合流洁净室不应大于65dBA；洁净室的噪声频谱限制各频带的声压级值不应大于《洁净厂房设计规范》GB50073-2001表4.4.2的规定。

4、操作过程及判定

（1）测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计一般只测A声级的数值。必要时测倍频程声压级。

（2）洁净室面积在15m点采样，除房间两对角线相交的室中心位置外，另在房间四角对角线上对称的选取4点。

（3）执行标准的编号及标准实施日期。

（4）被测试的洁净室或洁净区的地址

在洁净厂房设计规范中GB50073-2001中给洁净室的三种状态做了以下定义:

1.空态 as-built洁净室测试:设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

2.静态 at-rest:设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。

3.动态 operational:设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。

在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下:

1.空态洁净室的检测--Installation qualificafion(IQ)

2.静态洁净室的检测--Operational qualificafion(OQ)

3.动态洁净室的检测--Performance qualificafion(PQ)