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发布时间:2022-03-14 05:53:00 作者:世纪久海





1级洁净区:
洁净操作区的空气温度应为20-24℃
洁净操作区的空气相对湿度应为45%-60%
操作区的风速:水平风速≥0.54m/s
垂直风速≥0.36m/s
过滤器的检漏大于99.97%
照度:>300lx-600lx
噪音:≤75db(动态测试)
B级洁净区:
房间换气次数:≥25次/h
压差:B级区相对室外≥10Pa,同一级别的不同区域按气流流向应保持一定的压差。过滤器的检漏大于99.97%
C级洁净区:
压差:C级区相对室外≥10Pa,同一级别的不同区域按气流流向应保持一定的压差。过滤器的检漏大于99.97%
D级洁净区:
洁净操作区的空气温度应为18-26℃
房间换气次数:≥15次/h
压差:100,000级区相对室外≥10Pa,
洁净室检测的工艺流程
凡测定中所用的一切仪器设备必须按规定进行鉴定、校正或标定。测定之前,必须对系统、洁净室、机房等处进行清扫;在清扫和系统调整后,必须连续运行一段时间然后进行检漏等项目的测定。
(一)洁净室测定的程序大致如下:
1、风机空吹
2、室内清扫
3、调整风量
4、安中效过滤器
5、安过滤器
6、系统运行
7、过滤器检漏
8、调整风量
9、调整室内静压差
10、调整温湿度
11、单相流洁净室截面平均速度、速度不均匀的测定
12、室内洁净度测定
13、室内浮游菌和沉降菌的测定
14、和生产设备有关的工作和调整

压差
这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。
压差的测试应在所有的门都关闭的条件下,由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始,依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区),其洞口处宜有合理的气流流向等等。

压差标准要求
u 按照洁净室设计或工艺要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。
u 不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5Pa。
u 洁净室(区)与室外的静压差,不应小于 10Pa。
u 对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
u 若达不到以上标准的要求,应重新调整新风量、排风量、至合格为止。
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