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发布时间:2022-02-24 02:48:00 作者:世纪久海





{洁净室检测}之{悬浮粒子检测}
——洁净室检测之悬浮粒子检测注意事项——
A、室内测试人员必须穿洁净服,不得超过2人,应位于测试点下风侧并远离测试点,并应保持静止。进行换点操作时动作要轻,应减少人员对室内洁净度的干扰。
B、设备要在校准期内使用。
C、检测前和检测后设备“清零”
D、在单向流区域,所选择的采样探头应接近等动力采样,进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点,将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点,采样口应竖直向上。
E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。
采样点一般离地面0.8-1.2m左右,要均匀科学布点,而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点的数目都不得少于2个,总采样数可根据面积开2次根求得。
过滤器检漏}的测试方法
——过滤器检漏——
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,是要确认:
1. 滤网的材料无破损,
2. 安装恰当。
滤网出厂前当然要经过泄漏测试,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤材无任何泄漏。另外,若是安装不恰当,微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统,天花板上是负压,若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此,边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒,然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。微粒计数器测试法半导体业方面,早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计,但是随着制造精密度增加,油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用,因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒,在上游施放,然后用微粒计数器在下游扫描,寻找泄漏,基本概念完全相同。
{洁净室检测}
——过滤器检漏目的——
为了通过测出允许的泄漏量,发现过滤器及其安装的缺陷所在,以便采取补救措施。在洁净室中,过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。100000级(D级)或8级以上洁净度级别的洁净室普遍采用过滤器(HEPA),但过滤器安装后能否达到设计要求,在很大程度上取决于HEPA的安装质量。在实践中有许多洁净室其设计是合理的,但工程安装结束后却未达到预定的效果,检测发现不是污染粒子超标,就是细菌数超标,并且还往往找不出真正原因。其实此类事情的发生,往往是由于HEPA过滤器安装不合理引起的。动态operational设施已规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状态下进行工作。





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