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发布时间:2021-11-02 06:43:00 作者:世纪久海





{洁净室检测}之{浮游菌检测}、{沉降菌检测}
——洁净室检测之浮游菌检测、沉降菌检测注意事项——
浮游菌
少采样点数目对应悬浮粒子采样点数,工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,送风口测点位置离开送风面30cm左右,关键设备或关键工作活动范围处可增加测点,每个采样点一般采样一次。
全部采样结束后,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。
沉降菌
工作区测点位置离地0.8-1.2m左右,将已制备好的培养皿置于采样点,打开培养皿盖,使其暴露规定的时间,再将培养皿盖上,将培养皿放于恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应该有对照实验,检验培养基是否污染。

过滤器检漏}的测试方法
——过滤器检漏——
一、说明
过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,复杂、耗时间的测量项目。泄漏测试的目的,是要确认:
1. 滤网的材料无破损,
2. 安装恰当。
滤网出厂前当然要经过泄漏测试,但是在搬运与安装过程难保完全无损,而且滤网的重要性又大于一切,因此安装完毕都要做一次扫描,以确认滤材无任何泄漏。另外,若是安装不恰当,微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是 FFU 系统,天花板上是负压,若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。发生下列各项后需进行重复检测:1、洁净室达不到给定参数的原因已消除。因此,边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒,然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式,适用在不同的场合。
{洁净室检测}
检漏的范围
1、过滤器的滤材。
2、过滤器的滤材与其框架内部的连接。
3、过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间。
4、支撑框架和墙壁或顶棚之间。
PAO法检漏仪器
1、尘源:PAO溶剂。
2、气溶胶发生器:即产生烟雾的装置。
3、气溶胶光度计:即测定和显示气溶胶浓度的仪器。
PAO法原理
在被检测过滤器上风侧发生PAO气溶胶作为尘源,在下风侧用光度计进行采样,含尘气体经过光度计产生的散射光由光电效应和线性放大转换为电量,并由微安表快速显示。微粒计数器测试法半导体业方面,早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计,但是随着制造精密度增加,油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用,因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒,在上游施放,然后用微粒计数器在下游扫描,寻找泄漏,基本概念完全相同。采集到的空气样品通过光度计的扩散室,由于粒子扩散引起灯光强度的差异,经测定这个光强度,光度计便可测得气溶胶的相对浓度。由此而知,PAO试验实际测得的是过滤器的穿透率,而过滤器其效率与穿透率存在以下的关系:
K=(1—α)×100%
式中 K——过滤器穿透率,%;
α——过滤器效率,%。


洁净室检测
无尘洁净室(Clean Room),亦称为无尘室,洁净室或无尘车间。它是污染控制的基础。没有无尘洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,无尘洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。(3)测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可,测管口面与气流流线平行。无尘洁净室(Clean Room),亦称为无尘室,洁净室或无尘车间。它是污染控制的基础。没有无尘洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,无尘洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。

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