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发布时间:2021-10-03 05:06:00 作者:世纪久海





{洁净室检测}
滤器是洁净室的主要净化设备,是空气净化的主要手段。因此了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。
过滤器的分类:
按过滤器的性能(效率、阻力、容尘量)来划分,通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚、(HEPA)和超(ULPA)六类过滤器。
过滤器的使用和更换:
粗效过滤器是作为预过滤器使用,一般是设置在空调箱内,其作用是过滤大颗粒的粒子,以保护其后的空调设备(如表冷器和加热器等)和中效以及更高过滤器。一般粗效过滤器不能作为终端过滤器。它除去的是≥5.0μm的粒子
中效过滤器一般设在空调箱的正压段,其作用是保护亚、过滤器等终端过滤器。它除去的是≥1.0μm的中小粒子。一般情况下,中效过滤器是中间过滤器,不能做预过滤器用,也不能做终端过滤器。

过滤器检漏的前提
1、提前拆除过滤器的散流板。
2、洁净区要进行清洁,净化系统提前运行。
3、被检漏过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。
检漏的重要性
1、检漏试验是粒子测定的基础,其重要性不亚于粒子测定。
2、检漏试验和空气流速达到了规定要求,气流均匀度也在规定的控制范围内,则洁净度当然有了保证。
检漏方法
1、气溶胶作尘源,与气溶胶光度计配合。
常用气溶胶:邻ben二甲酸二辛酯(DOP),因其具有致突变性,现多采用 聚α-烯烃(PAO)。
2、大气尘作尘源,与粒子计数器配合。
——空气净化系统的验证——
由测试仪器校准、安装确认、运行确认、洁净室检测等几方面组成。
空气净化系统安装确认的内容
1、空气处理设备的确认。
2、风管制作、安装的确认。
3、风管及空调设备清洁的确认。
4、空调设备所用的仪表、测试仪器一览表及检定报告。
5、空气净化系统操作手册、SOP及控制标准。
6、过滤器的检漏试验。





洁净室检测
检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计,至少要检查下列各点:
1、洁净室设备的成套性;
2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计;
3、公用和辅助设备功能运转是否正确;
4、所以控制系统,监控器,报警和警报器等的检定(检查)日期;
5、安装质量;
6、安装过滤器(终过滤器)的完整性;
7、电源和设备是否有备份,其中包括空气处理设备的风量余量;
8、压差;
9、气流特性(单向气流--流速,均匀性和气流方向);
10、维护结构的密闭性;
11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计;
12、表面洁净度;
13、包装中是否有备件。
检查HEPA(ULPA)过滤器的完整性具有重要意义,此项检查对ISO6级、ISO5级及更别的洁净室来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性(对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要)。

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