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{洁净室检测}状态之-空态、静态、动态

洁净室检测状态之-空态、静态、动态

术语:

在《洁净厂房设计规范中》中给洁净室的三种状态做了以下定义:

空态 as-built洁净室测试

设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。

静态 at-rest

设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及工艺商同意的状态下运行，但无生产人员。

动态 operational

设施已规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。

在ISO14644中规定将洁净室检测阶段划分如下:

空态洁净室的检测--Installation qualificafion(IQ)

静态洁净室的检测--Operational qualificafion(OQ)

动态洁净室的检测--Performance qualificafion(PQ)

空态洁净室的检测(IQ)

检查空态洁净室和安装的设备是否符合设计，至少要检查下列各点:

1、洁净室设备的成套性;

2、一切能源载体和工艺介质的供应(水、电、蒸汽、压缩空气、气体等)是否符合设计;

3、公用和辅助设备功能运转是否正确;

4、所以控制系统，监控器，报警和警报器等的检定(检查)日期;

5、安装质量;

6、安装过滤器(终过滤器)的完整性;

7、电源和设备是否有备份，其中包括空气处理设备的风量余量;

8、压差;

9、气流特性(单向气流--流速，均匀性和气流方向);

10、维护结构的密闭性;

11、检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计;

12、表面洁净度;

13、包装中是否有备件。

检查HEPA(ULPA)过滤器的完整性具有重要意义，此项检查对ISO6级、ISO5级及更高的级别的洁净室来说尤其必要。应检查表面洁净度及维护结构的密闭性(对ISO1级~ISO5级的洁净室特别重要)。

静态洁净室的检测(OQ)

本阶段的检测至少应完成下列各项工作:

1、确认洁净区划分原则是否符合要求;

2、确定洁净室在经过污染水平升高后的自净时间参数;

3、确定保持温度和相对湿度的稳定性;

4、按粒子数确定洁净度级别;

5、确定压差;

6、在必要的场所应按粒子和微生物污染水平确定表面的洁净度;

7、确定照度;

8、确定噪声级;

9、利用必要的工具目视检查气流并检查换气次数(必要时);

10、将取得数据结果写成书面文件。

动态洁净室的检测(PQ)

为了评估动态洁净室工作的稳定性:

1、验证洁净室分割制度;

2、评估将温度和相对湿度保持在规定范围内的能力;

3、按粒子数检查洁净度级别并确定空气中的微生物浓度(必要时);

4、验证压差;

5、按粒子数和微生物数量确定表面洁净度(必要时);

6、检查洁净室运行文件的成套性，其中包括参数的检查方法，洁净室工作事故及采取的措施等，是否有基本的规程，如洁净室清扫、更衣、人员卫生等方面的规程等;

7、检查人员是否经过培训，是否有培训体系和相应的文件;

必要时还要检查振动强弱，空气电离程度，电磁场强度。可根据洁净室的特点改变测试的具体内容。

在使用过程中，应对洁净室的参数进行日常监控，监控要有一定的周期性，洁净室用户可根据规范文件的要求确定这种周期性

检测可在洁净室工作过程中进行(重复检测);

发生下列各项后需进行重复检测:

1、洁净室达不到给定参数的原因已消除;

2、与使用条件例如洁净室的使用有较大差异(如改变工艺流程等);

3、空气长时间停止流通(进风)而影响洁净室工作;

4、做了影响洁净室工作的个别维护或修理工作，如更换HEPA过滤器以后。

{洁净室检测}从业人员规范

——洁净室检测从业人员规范——

     为了防止和削减洁净室从业人员对洁净室形成的污染。洁净室检测作业以外的人员，在与洁净室作业人员捷星接触说话时，要将自己背对曩昔，因为口鼻会向注视的方兴发出污染。

做到口鼻不对洁净室的作业区。

     如果出现咳嗽或许打喷嚏的情况，要做到背对洁净室的作业区用手套掩住，然后及时替换手套。情况严重的者应立即离开洁净室区域，并向领导陈述。

{洁净室检测}

检漏的范围

1、过滤器的滤材。

2、过滤器的滤材与其框架内部的连接。

3、过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间。

4、支撑框架和墙壁或顶棚之间。

PAO法检漏仪器

1、尘源：PAO溶剂。

2、气溶胶发生器：即产生烟雾的装置。

3、气溶胶光度计：即测定和显示气溶胶浓度的仪器。

PAO法原理

在被检测过滤器上风侧发生PAO气溶胶作为尘源，在下风侧用光度计进行采样，含尘气体经过光度计产生的散射光由光电效应和线性放大转换为电量，并由微安表快速显示。采集到的空气样品通过光度计的扩散室，由于粒子扩散引起灯光强度的差异，经测定这个光强度，光度计便可测得气溶胶的相对浓度。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。由此而知，PAO试验实际测得的是过滤器的穿透率，而过滤器其效率与穿透率存在以下的关系：

K=(1—α）×100%

式中  K——过滤器穿透率，％；

α——过滤器效率，％。

洁净室检测

一、无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。

二、无尘洁净室的原理。洁净室是利用HEPA、空气净化设备，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。经过科学家一步步研究结果，发现PSL因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前***为使用的标准微粒。

二、无尘洁净室的原理。洁净室是利用HEPA、空气净化设备，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。