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发布时间:2020-06-13 09:50:00 作者:世纪久海





{洁净室检测}
——***过滤器检漏目的——
为了通过测出允许的泄漏量,发现***过滤器及其安装的缺陷所在,以便采取补救措施。在洁净室中,***过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。100000级(D级)或8级以上洁净度级别的洁净室普遍采用***过滤器(HEPA),但***过滤器安装后能否达到设计要求,在很大程度上取决于HEPA的安装质量。在实践中有许多洁净室其设计是合理的,但工程安装结束后却未达到预定的效果,检测发现不是污染粒子超标,就是细菌数超标,并且还往往找不出真正原因。——***过滤器检漏——一、说明过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中,***复杂、***耗时间的测量项目。其实此类事情的发生,往往是由于HEPA过滤器安装不合理引起的。



在HEPA过滤器的进风侧(上游侧)引入PAO气溶胶,对空气净化系统检漏可直接把PAO烟雾放入空调器内,注意不要被空调器内的过滤器吸附。对线性读数光度计来说,气溶胶发尘的浓度为10-100μg/L。浓度低于20μg/L时,检漏的灵敏度欠佳;高于80μg/L时,长时间检测会过度污染过滤器。所以过滤器上风侧发放的浓度一般为20-30μg/L即可。检测项目:风量(换气次数)、新风量、风速、压差(静压差)、温度、相对湿度、噪声、照度、***空气过滤器检漏、悬浮粒子(空气洁净度等级)、浮游菌、沉降菌、自净时间、表面染菌密度等。调节气溶胶发生器输出
阀的开合度,直至确认上游浓度达到20-30μg/L,并保持相对稳定。设定100%基准。但若气溶胶的量发生小,达不到规定的浓度,可将发生器放在被测HEPA系统风机箱送风段内。对于FFU层流罩和生物安全柜等可用4B发生器,将气溶胶引入过滤器的上游。然后用光度计的采样头扫描过滤器的出风侧以及支架。按ISO14644描述:扫描时速度约2cm/s,扫描按直线来回往复地进行,扫描的覆盖面之间略有重叠。采样探头距过滤器出风面和框架结构约3cm。扫描应遍及过滤器的整个出风面、过滤器周边、过滤器边框与安装架构之间的密封处及安装架构的结合点。当上游浓度正确,连10-4μg/L的微小渗漏都可在光度计上反映出来。现代电子产品要求微型化、高纯度、高质量和高可靠性,以人们熟悉的手机、笔记本电脑为例,它所使用的集成电路、电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控环境条件下进行操作,其中以集成电路生产过程对受控环境的要求尤为严格。泄漏处经用环氧树脂硅胶堵漏或螺栓紧固以后再进行扫描巡检,仪表指示为“0”,表明漏点已被堵住。一般检查一个过滤器在3-5分钟内就可完成。





洁净室检测
组成系统作用过滤器
过滤器的基本知识
过滤器是洁净室的主要净化设备,是空气净化的主要手段。因此,对于从事洁净室设计、建造和维护管理人员了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。
1.过滤器的分类
按过滤器的性能(效率、阻力、容尘量)来划分,通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚***、***(HEPA)和超***(ULPA)六类过滤器。
我国***《空气过滤器》GB/T14295-93中将不同过滤器的效率和阻力规定如下:
***《***空气过滤器》GB13554-92中规定将***过滤器按性能划分为A、B、C、D四类。D类又通称为超***过滤器(或称为0.1μm***过滤器或超低透过率过滤器)。


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